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《药品生产质量管理规范》对洁净空调系统的特殊要求
1.1众所周知，《药品生产质量管理规范附录1：无菌药品》对洁净室动、静态定义
动态：指生产设备按预定的工艺模式运行并有规定数量的操作人员在现场操作的状态。
静态：指所有生产设备均已安装就绪，但没有生产活动且无操作人员在场的状态。
第三十八条无菌药品生产的洁净区空气净化系统应当保持连续运行，聊城空气净化工程，维持相应的洁净度级别。因故停机再次开启空气净化系统，应当进行必要的测试以确认仍能达到规定的洁净度级别要求。
1.2《药品生产质量管理规范》第四十八条
洁净区与非洁净区之间、不同级别洁净区之间的压差应当不低于1O帕。必要时，大型空气净化工程，相同洁净度级别的不同功能区域（ 操作间） 之间也应当保持适当的压差梯度。
１.３ 通过动静态的定义，
微环境的送风是由无尘车间送风系统提供，其缺点是不灵活，移动或增加工艺设备不方便。目前8”、12”IC生产线所用的微环境基本上是图5的形式（光刻机除外），微环境全部由工艺设备自带，与工艺设备紧密结合在一起，并且与装载台、前开口传递盒(front opening unified pods．FOUP)、吊挂传输系统(ovcerhead hoist transport，OHT)有机结合。微环境系统的风机直接吸室内的空气，经ULP过滤器处理后垂直下吹，以保证硅片暴露区严格的洁净度要求。
究其原因，除了习惯、经验等非技术性因素之外，不外乎有以下几个原因：
a)灵活性：在三种系统中，FFU系统的灵活性是至好的，这点特别适应当今IC生产技术飞速发展的要求，由于随着产品生产工艺的发展洁净度等级需求也会不断严格。隧道系统几乎谈不上灵活性，且隧道系统是以操作区作为送风、设备区作为回风的空气循环系统，力天世纪空气净化工程公司，但8”、12”IC厂房无尘车间日前基本上都采用Ballroom方式，f：分操作区和设备区，因此隧道系统也就不适用J；集中送风系统有一定的灵活性，但洁净系统改造时必须停机、停产。
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